193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料，通過(guò)空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡，有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題，在 193nm 波長(zhǎng)下實(shí)現(xiàn)高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備高激光損傷閾值，適用于 ArF 準(zhǔn)分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應(yīng)用場(chǎng)景。
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特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過(guò) |
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貨號(hào) :
GTP-193產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格:
| 材料: | 極紫晶體 |
| 波長(zhǎng)范圍: | 193.368nm |
| 消光比: | <1x10-4 |
| 平行度: | <1′ |
| 光潔度: | 20/10 |
| 光束背離: | < 3′ |
| 波前畸變: | 1/4@632.8nm |
| 損傷閾值: | >200 MW/cm2 |
193nm格蘭泰勒棱鏡：
| 型號(hào) | 波長(zhǎng)范圍nm) | 消光比 | 視場(chǎng)角(°) | 通光孔徑(mm) | 直徑(mm) | 長(zhǎng)度(mm) |
| GTP4006 | 193.368 | <5x10-6 | >6.0 | 5.0 | 25.4 | 13.0 |
| GTP4008 | 6.5 | 25.4 | 14.0 | |||
| GTP4010 | 8.0 | 25.4 | 16.0 | |||
| GTP4013 | 10.0 | 25.4 | 20.0 | |||
| GTP4015 | 12.0 | 30.0 | 23.0 | |||
| GTP4020 | 18.0 | 38.1 | 28.0 | |||
| GTP4025 | 22.0 | 50.8 | 33.0 |
193nm格蘭泰勒棱鏡的技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
193nm格蘭泰勒棱鏡核心優(yōu)勢(shì)在于采用深紫外適配材料，這類材料在193nm波段吸收極低，透過(guò)率優(yōu)異，能精準(zhǔn)維持偏振方向，空氣隙結(jié)構(gòu)避免膠合材料在深紫外的吸收干擾，配合專用增透膜，減少深紫外光反射損耗，適配高功率深紫外激光場(chǎng)景。
193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料，通過(guò)空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡，有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問(wèn)題，在 193nm 波長(zhǎng)下實(shí)現(xiàn)高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備高激光損傷閾值，適用于 ArF 準(zhǔn)分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應(yīng)用場(chǎng)景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過(guò)
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193nm格蘭激光棱鏡選用高光學(xué)均勻性極紫晶體，減少光傳播中的散射畸變。窄波段內(nèi)偏振穩(wěn)定，精密封裝降低光路偏差，適配深紫外激光檢測(cè)等高精密場(chǎng)景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 裝配有逃逸窗口 適合高功率應(yīng)用
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洛匈棱鏡 類似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過(guò)，而尋常光線則以一定偏角透過(guò)。 特征： 光路無(wú)膠 高極化純度 適用于中低功率應(yīng)用
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193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。 特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性
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193nm零級(jí)空氣隙波片，無(wú)膠合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好，石英材料耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光運(yùn)行，偏振控制穩(wěn)定。 特點(diǎn): 空氣間隙 厚度：0.3~1.5mm 高延遲均勻性 高損傷閾值
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VUV激光定制偏振片系列工作波長(zhǎng)為193.368nm，覆蓋160-250nm波長(zhǎng)范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應(yīng)用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專業(yè)的偏振解決方案。無(wú)論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都能滿足客戶對(duì)光學(xué)元件的嚴(yán)苛要求。有需求的客戶歡迎聯(lián)系我們。
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