193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。
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特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性 |
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貨號(hào) :
WPL產(chǎn)品產(chǎn)地 :
FuZhou規(guī)格：
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材料:
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石英晶體
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直徑公差：
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+0.0, -0.1mm
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波前畸變:
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λ/8 @ 632.8nm
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延遲精度:
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λ/50
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平行度:
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<1″
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光潔度:
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20/10
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通光孔徑:
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>90%
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鍍膜：
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不鍍膜或按要求定制鍍膜
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標(biāo)準(zhǔn)波長:
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193.368nm
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193nm少級(jí)波片:
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半波片 P/N#
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四分之一波片 P/N#
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直徑(mm)
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WPL-210-193
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WPL-410-193
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10.0
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WPL-212-193
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WPL-412-193
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12.7
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WPL-215-193
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WPL-415-193
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15.0
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WPL-220-193
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WPL-420-193
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20.0
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WPL-225-193
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WPL-425-193
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25.4
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WPL-230-193
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WPL-430-193
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30.0
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WPL-235-193
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WPL-435-193
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35.0
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WPL-250-193
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WPL-450-193
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50.0
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193nm少級(jí)波片的技術(shù)優(yōu)勢(shì)：?
193nm少級(jí)波片通過優(yōu)化專為深紫外波長的雙折射材料，并結(jié)合離子束精修工藝，實(shí)現(xiàn)了高幅度相位延遲，其核心優(yōu)勢(shì)包括在 193nm 波長下相位誤差 <±1% 的高延遲精度 —— 離子束精修技術(shù)的應(yīng)用大幅降低了材料光學(xué)厚度的微觀偏差，從而為準(zhǔn)分子激光器等深紫外激光系統(tǒng)提供更精確的偏振控制。其緊湊結(jié)構(gòu)無需復(fù)雜的級(jí)聯(lián)設(shè)計(jì)，非常適用于光刻系統(tǒng)中的集成深紫外光學(xué)模塊；較高的激光損傷閾值（>5 J/cm² @ 193nm）確保了其在高功率深紫外應(yīng)用中的可靠性，而離子束精修形成的超光滑表面進(jìn)一步減少了高能激光照射下的局部能量聚集風(fēng)險(xiǎn)。在深紫外光譜偏振測(cè)量系統(tǒng)中，經(jīng)離子束精修保障的穩(wěn)定相位延遲使偏振度測(cè)量誤差控制在 2% 以內(nèi)，為光刻膠表征、大氣臭氧層光譜分析等場(chǎng)景的高精度偏振分析提供了便利。
193nm格蘭泰勒棱鏡采用極紫晶體材料，通過空氣隙結(jié)構(gòu)分離兩棱鏡，有效避免膠合材料在深紫外波段的吸收問題，在 193nm 波長下實(shí)現(xiàn)高透射率，同時(shí)保持優(yōu)異的消光性能，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備高激光損傷閾值，適用于 ArF 準(zhǔn)分子激光光刻、深紫外激光加工等需要精確偏振控制的高精度應(yīng)用場(chǎng)景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 深紫外透過
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193nm格蘭激光棱鏡選用高光學(xué)均勻性極紫晶體，減少光傳播中的散射畸變。窄波段內(nèi)偏振穩(wěn)定，精密封裝降低光路偏差，適配深紫外激光檢測(cè)等高精密場(chǎng)景。 特征: 空氣間隙 接近布魯斯特角切割 高偏振極化 裝配有逃逸窗口 適合高功率應(yīng)用
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洛匈棱鏡 類似沃拉斯頓偏振器，將入射光束分離為尋常光線和非尋常光線，但非尋常光線直線透過，而尋常光線則以一定偏角透過。 特征： 光路無膠 高極化純度 適用于中低功率應(yīng)用
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193nm少級(jí)波片是深紫外波段偏振器件，可精確調(diào)控入射光偏振態(tài)，適用于光刻、激光科研等深紫外光學(xué)系統(tǒng)，由耐193nm輻射的特殊材料制成，保障穩(wěn)定性與精度。 特征： 厚度：0.05-0.5mm 高損傷閾值 高延遲均勻性
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193nm零級(jí)空氣隙波片，無膠合層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性強(qiáng)，抗老化性能好，石英材料耐深紫外腐蝕，適合連續(xù)高功率激光運(yùn)行，偏振控制穩(wěn)定。 特點(diǎn): 空氣間隙 厚度：0.3~1.5mm 高延遲均勻性 高損傷閾值
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VUV激光定制偏振片系列工作波長為193.368nm，覆蓋160-250nm波長范圍。該系列產(chǎn)品包括VUV薄晶體偏振片、洛雄偏振片、格蘭偏振片、VUV廣角波片等。這些產(chǎn)品適用于各種激光應(yīng)用場(chǎng)景，憑借其高精度和高可靠性，為真空紫外激光領(lǐng)域提供專業(yè)的偏振解決方案。無論是科研還是工業(yè)應(yīng)用，都能滿足客戶對(duì)光學(xué)元件的嚴(yán)苛要求。有需求的客戶歡迎聯(lián)系我們。
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